Por muito tempo, a tecnologia de litografia EUV tem sido usada principalmente para criar os chips lógicos e de memória mais poderosos.No entanto, o Centro Belga de Pesquisa em Microeletrônica (IMEC) utilizou recentemente com sucesso o equipamento de litografia EUV da ASML pela primeira vez para alcançar a fabricação de nanoporos de estado sólido em nível de wafer em um wafer de 300 mm.
Este desenvolvimento foi saudado pelo chefe de relações públicas da ASML como uma “aplicação biomédica inesperada e notável”.
Os chamados nanoporos são pequenos orifícios com diâmetro de apenas alguns nanômetros e sua finura é de cerca de um décimo milésimo de um fio de cabelo humano. No campo do biossensor, os nanoporos funcionam como “pontos de verificação molecular”.
Quando a corrente iônica flui através do buraco,As moléculas (como vírus, proteínas ou DNA) dentro delas produzem sinais únicos para a corrente elétrica. Com base nesses sinais elétricos únicos, os cientistas podem identificar o tamanho, a estrutura e a carga das moléculas com alta sensibilidade.
Embora os nanoporos tenham grande potencial em genômica e proteômica, a produção em larga escala não foi possível no passado devido à variabilidade de fabricação e às dificuldades de integração.
A inovação da imec é usar a tecnologia EUV para garantir um alto grau de consistência no tamanho dos poros. Atualmente, o tamanho dos poros foi reduzido com precisão para cerca de 10 nanômetros e espera-se que ultrapasse 5 nanômetros por meio de melhorias no processo no futuro.
Além do mais, este método é compatível com CMOS, o que significa que os biossensores podem ser produzidos em massa em wafers de 300 mm, assim como em chips.
O gerente de projeto de P&D da imec, Ashesh Ray Chaudhuri, disse que a aplicação da infraestrutura EUV originalmente usada para fabricação de chips nas ciências biológicas abriu a porta para conjuntos de biossensores de alto rendimento.