Medição real de wafer de silício de produção em massa do processo Intel 18A-P: frequência aumentada em 30% na tensão de 0,5 V

📅 2026-08-26

Resumo:

在Hot Chips大会上,英特尔公布了18A-P制程工艺的更多细节。这一工艺引入了环绕式栅极(GAA)晶体管、背面供电(GAA-BSPD)、Power Boost技术,并增加了金属层数,在低电压条件下可为x86"量产"硅片带来高达30%的运行频率提升。

Futurum Research Group与英特尔合作披露了18A-P工艺的具体优势,研究显示该工艺并非18A的简单迭代,而是"刻意"设计用于在低电压下提升能效、在高电压下提升性能。与18A相比,英特尔18A-P在同等功耗下性能提升超过9%,或在同等性能下功耗降低超过18%;该工艺还引入了先进应变工程以增强载流子迁移率,并扩展了RibbonFET产品线,新增了面向AI、移动及数据中心应用的Power Boost技术。

报告中写道:"这些创新技术有望为多代产品的单核性能领先奠定基础。FinFET技术的成熟历经了四代器件与设计协同优化的积累。而带有背面供电的GAA技术目前正处于这一发展曲线的第一步——在量产硅片上已实测到低电压下30%的提升,高电压下也达到两位数增幅。Diamond Rapids与Nova Lake将率先享受到18A-P带来的红利,而钌互连与堆叠逻辑等技术仍在后续规划之中。"

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A tecnologia de transistor GAA foi projetada para beneficiar ao máximo a faixa de baixa tensão. Na extremidade de alta tensão, tecnologias de fonte de alimentação traseira, como o PowerVia da Intel, mostraram seu potencial direcionando a energia da parte traseira do wafer em vez da camada de fiação frontal. O estudo apontou que o valor de 30% vem de resultados de medição direta, ou seja, da comparação entre o núcleo da CPU fabricado com base no processo de alimentação traseira GAA e o núcleo FinFET do mesmo nível em toda a faixa de tensão operacional: na tensão de 0,5V, a frequência operacional do núcleo é aumentada em 30%. Esta comparação é conduzida no mesmo nível de tensão e núcleo, de modo que o impacto das mudanças arquitetônicas possa ser eliminado e a contribuição da tecnologia do processo em si possa ser medida separadamente.

RibbonFET的栅极从四面包裹晶体管通道,使英特尔能够更精确地控制更低的阈值电压。此外,将供电布线移至晶圆背面可减少IR压降,从而降低电压损耗。英特尔研究员Eric Fetzer表示:"背面供电这一概念本质上是对高电压供电的一种改进。它在低电压下也有帮助,但在高电压时会出现较大的压降事件,此时背面供电在降低供电损耗方面效果非常显著……将背面供电与环绕式栅极结合并非偶然,这是把两项互补的技术结合在一起,因此我们同时具备了高电压和低电压两方面的优势故事。"

No processo 18A, a Intel demonstrou o efeito da fonte de alimentação traseira convertendo o ganho do dispositivo em melhoria de frequência do núcleo, alcançando um aumento de frequência de 5% em 1,1V e um aumento de frequência de 7,5% em 0,95V. Além disso, o processo 18A-P expandiu a linha de produtos RibbonFET, adicionando opções de dispositivos otimizados para diferentes objetivos de design, como W1 e W1.5 para dispositivos de baixa potência e baixa capacitância e W3P para aplicações de alto desempenho equipadas com tecnologia Power Boost, que pode atingir um aumento de 10% na velocidade operacional sem aumentar a carga elétrica. Comparado com 18A, 18A-P também reduz a resistência externa dos dispositivos NMOS em 20% e dos dispositivos PMOS em 12%, ao mesmo tempo que atinge corrente e frequência mais altas sob condições de capacitância correspondentes.

Com base na inovação de gerenciamento térmico introduzida no 18A, o 18A-P melhora ainda mais as capacidades de dissipação de calor por meio de melhorias nos materiais e soluções avançadas de dissipação de calor orientadas por EDA. O 18A-P aumenta a condutividade térmica da pilha colada em 50%, melhorando a resistência térmica da pilha geral em 20% a 40%.

Além disso, a Intel está avaliando materiais avançados e tecnologias de embalagem para ampliar seu roteiro tecnológico. A interconexão de rutênio do processo subtrativo e a estrutura do entreferro demonstrada na pesquisa VLSI da Intel podem reduzir a capacitância em cerca de 35% em comparação com a interconexão de cobre, e essa vantagem será ainda mais amplificada em passos finos - as interconexões de cobre precisam ser cobertas com camadas de barreira resistiva em todos os lados que não podem ser reduzidas ainda mais, e a resistência do cobre mostrará um crescimento não linear em tamanhos pequenos dominados por limites de grão. No entanto, as interconexões de rutênio ainda mantêm características lineares no mesmo espaçamento, para que possam tirar vantagem em cenários onde a resistência do fio limita a frequência. Olhando mais para o futuro, a Intel está estudando tecnologia lógica empilhada na direção do eixo z, que empilha um dispositivo lógico sobre outro, de modo que os sinais só precisem ser transmitidos verticalmente em distâncias curtas, em vez de roteamento planar de longa distância. Este trabalho está diretamente relacionado ao desempenho da expansão de alta tensão.

Diamond Rapids将是采用18A-P工艺的首批主力产品之一。据英特尔透露,相关研发工作实际上从上一代Xeon 6+"Clearwater Forest"就已开始,这使得团队能够将E核在性能功耗比方面的优势延续至Diamond Rapids的P核上。Diamond Rapids最高可配置256核心,是上一代核心数量的两倍,因此需要更强的内存带宽支撑。英特尔将IO模块移至封装中心位置,使每个核心都能获得均匀的内存访问延迟,这对AI规模级别的工作负载至关重要,而18A-P带来的频率提升空间也将直接转化为更高的单核性能。

英特尔研究员Eric Fetzer总结道:"这正是你将在Diamond Rapids上看到的效果。一切都从核心底层技术开始。我们借助18A-P的优势同时提升核心数量与核心性能,再通过架构升级为其提供足够的数据供给。"

总体而言,带有背面供电的GAA技术被视为英特尔迈向多代单核性能领先路线图的第一步。这一进程始于18A-P工艺,其在低电压下实现30%的提升,在高电压下实现两位数增幅,且已在量产硅片上得到验证,相关产品包括Diamond Rapids Xeon系列以及计划于明年推出的Nova Lake"Core"系列。

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