O prefeito de Moscou, Sergei Sobyanin, anunciou publicamente que o Centro de Nanotecnologia Zelenograd de Moscou concluiu a pesquisa e o desenvolvimento da primeira máquina de litografia de 350 nm da Rússia e em breve será colocada em produção em massa.
Em maio de 2024, a Rússia divulgou que havia concluído a montagem de sua primeira máquina de litografia doméstica e a estava testando para produzir chips de 350 nm.
Sergey Sobyanin divulgou agora a primeira foto física de uma máquina litográfica doméstica russa de 350 nm.
Ele enfatizou: "Existem menos de 10 países no mundo que têm a capacidade de fabricar este tipo de equipamento semicondutor chave, e a Rússia se tornou um deles. Este é um passo fundamental para a Rússia localizar a microeletrônica e alcançar a independência tecnológica."
De acordo com sua divulgação, as máquinas de litografia russas são completamente diferentes de equipamentos estrangeiros similares. Eles não usam lâmpadas de mercúrio como fontes de luz. Em vez disso, eles usam pela primeira vez lasers de estado sólido, que têm as vantagens de alta potência, alta eficiência energética, longa vida útil e espectro concentrado.
Ao mesmo tempo, a área de trabalho da máquina de litografia russa atingiu 22x22 mm e pode fabricar wafers com diâmetro máximo de 200 mm.
Vale ressaltar que a tecnologia de fonte de luz laser DUV desenvolvida com sucesso pela Academia Chinesa de Ciências em meu país também é totalmente baseada no design de estado sólido e espera-se que avance para o nó de 3 nm. No entanto, atualmente apresenta as desvantagens de baixa potência e baixa frequência.
O processo de 350 nm parece muito atrasado, mas ainda pode atender a algumas necessidades nas áreas de automóveis, energia, comunicações e outras áreas, e a Rússia continua a promover a pesquisa e o desenvolvimento de máquinas de litografia de 130 nm, que deverá ser concluída no próximo ano.
Além disso, a Rússia domina a tecnologia de fabricação do processo de 65 nm, mas depende de equipamentos importados do exterior e está atualmente se preparando para a localização de 65 nm.